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气体质量流量控制器 型号:KM12-C50库号:M390287
  • 产品名称:气体质量流量控制器 型号:KM12-C50库号:M390287
  • 产品型号:KM12-C50
  • 所属类别:仪器
  • 发布时间:2025-12-24
  • 已获点击:16
详细说明
产品特点
安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使 用,也可通过模拟数字信号转换器( AD/DA转换器)配合计算机使用。
流量规格(N2标定)
0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM
注:满量程流量不限于此处列出的流量规格,可以在5SCCM ~ 30SLM范围内任选,例如123SCCM。
输入输出信号
0~ +5.00V (输入阻抗大于100kQ ,输出电流不大于3mA)
流量规格1:(N2)产品特点
本产品具有响应时间短、标定精度和重复精度高等特点,安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使 用,也可通过模拟数字信号转换器( AD/DA转换器)配合计算机使用。
流量规格(N2标定)
0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM
注:满量程流量不限于此处列出的流量规格,可以在5SCCM ~ 30SLM范围内任选,例如123SCCM。
输入输出信号
0~ +5.00V (输入阻抗大于100kQ ,输出电流不大于3mA)
流量规格:0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM
调节阀类型:常闭型
量程比:2-99%FS或者50:1
流量分辨率:0.1%FS
准确度:1%FS 小于15SLM
2%FS 大于15SLM
线性:0.5%FS 小于15SLM
2%FS 大于15SLM
重复精度:0.2%FS
相应时间:小于2S
工作压差范围:0.1-0.5MPA 小于10SLM
0.1-0.3MPA 大于10SLM
MAX耐压:3MPA
工作环境:5-45度
电缆接头:DB15pin(针形)
输入输出信号:0-5V(输入抗阻大于100K欧 输出电流不大于3MA)
供电电源要求:+15VDC 80MA -15VDC 2000MA
对外单点泄漏
≤1X10 9Pa. m2/S (He)
介质接触材质
316,316L, 密封填料
密封材料
丁腈橡胶NBR,三元乙丙橡胶EPDM,氯丁橡胶CR,硅橡胶VMQ,
氟橡胶FKM,氟橡胶FFKM,聚四氟乙烯PTFE
VCR型接头: 1/4"
管道接头尺寸
双卡套型接头: 1/8”、1/4"、3/8”或φ3、中6、φ8、φ10 mm
外形尺寸
长X宽X高: 127X30X 100 mm
净重量
0.88kg

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