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磁控离子溅射仪 型号:XZ1-SBC-16库号:M258246
  • 产品名称:磁控离子溅射仪 型号:XZ1-SBC-16库号:M258246
  • 产品型号:XZ1-SBC-16
  • 所属类别:仪器
  • 发布时间:2024-09-20
  • 已获点击:50
详细说明
主要适用于扫描电镜成像中非导电样品的镀膜,
适用于不耐高温的样品,无热损伤;也可适用于电极,金属镀膜等。
技术参数
靶材 适合Au,Au/Pd,Pt,Pt/Pd
工作腔室:
内径105mmx120mm
样品台(可定制):
可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为60mm
旋转倾斜样品台(选配)
抽气速率:1L/s
极-限真空:5*10的负2次方Pa
工作气体:空气或氩气
配置清单:
靶材(金或者铂),机械泵,玻璃罩,油雾过滤器各-个

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