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在线热偶真空计 型号:ZXHD/VMG0527库号:M364781
  • 产品名称:在线热偶真空计 型号:ZXHD/VMG0527库号:M364781
  • 产品型号:ZXHD/VMG0527
  • 所属类别:电子测量仪器
  • 发布时间:2024-07-11
  • 已获点击:75
详细说明

这个系列自带 2英寸 240X320液晶点阵显示模块,可以在现场读出真空系统的状态。传感器为压阻-热导复合,综合了压阻在 500Pa以上不受气体种类影响|高|精度,热导在 500Pa以下宽量程.
真空规应用场合:本真空规应用于工业应用、科研院所、半导体行业需要测量粗低真空的场合:一般真空压力测量。前级管道和粗低真空压力测量。气体回填测量和控制。质谱仪控制。启动高真空电离规。系统过程控制。检测异常压力,利用继电器设提供系统安|全措施 控制系统压力。PVD、CVD气相沉积镀膜硅单晶生长

技术指标:
测量范围: 100kPa~0.1Pa
测量精度:100KP~500Pa: 5%-3-500P~1Pa: 10%<1Pa: 20%
工作电压: 12-24VDC
功率: <1.5瓦
控制触点(可选组件):2组 TTL级
通讯方式(可选组件):RS485
模拟输出(可选组件):隔离输出 4~20mA。

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