热式气体质量流量控制器 AC-S030C
气体质量流量控制器/流量计出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量单位：SCCM（标准毫升每分钟）、SLM（标准升每分钟）
标准状况：温度--293.15K(20℃)
压力--101325Pa（760mmHg）
F.S（Full Scale）表示满量程
型号 AC-S030C
流量规格（氮气） 10SCCM-30SLM
控制量程 2%-100 %
精度 ≤±1.0%F.S
线性 ≤±0.5%F.S
重复性 ≤±0.2%F.S
阀门类型 常闭阀
响应时间 1-3sec
耐压 ≤0-50Bar
通信信号 0-5V/4-20mA
供电方式 15VDC or 24VDC (300mA)
泄漏率 1×10-9atm. cc/sec He
热式气体质量流量控制器 AC-S030C
应用行业：真空镀膜设备、石油化工、航空航天、医药制造业、火电、核电、天*然*气加气站、太阳能、 液晶面板制造半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能源与环境保护设
备、各种分析仪器设备表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院所实验室设备等行业的公司
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