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详细说明
技术参数
旋转真空泵转速-------------- 50 Hz: 8m3/h (2.2 L/s) / 60 Hz: 9.6m*/h (2.6 L/s)
JI限真空度------------------- 2 Pa
溅射电流----------------- ≤0~ 20 mA
工作压-------------------- 30Pa- 7 Pa
抽真空时间------------------ <5 Min (2 Pa )
真空测量-------------------测量范围从大气压到2x 10的负2次方 mbar
腔体尺寸-------------------- φ 150 * 120mm (高)抗刮石英玻璃
磁控靶源-----------------.靶尺寸φ50*0.1mm(金) /溅射靶源:金、银、铂
操作方---------------------操作手册
重量/尺寸------------------. 45kg / 360mm长x 300mm宽x 380mm高
工作电源.------------------. AC 220V 50Hz
电源功率-------------------- < 1500W
冷却方式---_----------------风冷
