
磁控溅射仪 型号:LH12-SC-SU-I库号:M264255
参数 指标 石英仓尺寸 150X120MM 样品台尺寸 70mm 溅射面积 50mm 高真空度 5pa 可通气体 氩气,氮气等惰性气体 高溅射速度 8nm/min 整机功率 200W 机器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)


磁控溅射仪 型号:LH12-SC-SU-I库号:M264255
参数 指标 石英仓尺寸 150X120MM 样品台尺寸 70mm 溅射面积 50mm 高真空度 5pa 可通气体 氩气,氮气等惰性气体 高溅射速度 8nm/min 整机功率 200W 机器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)