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CDG025D电容膜片真空计属于温度补偿型真空机,在环境中具有稳定的性能,提高真空计的性能和易于使用的特点,如一键调零功能和设点调整,抗腐蚀性的陶瓷传感器具有零点稳定性与预期压强周期包括大气冲击的寿命。传感器屏敝保护真空计防丨止过程污染。机械结构和数字电子学加强了EMC兼容性,长期稳定性和温度补偿性。 ◆ 全刻度范围从100毫乇…1000乇 ◆ 电源接通后的快速稳定性 ◆ 暴露大气压后的快速恢复 ◆ 抗腐蚀性陶瓷传感监测器 ◆ 讯号稳定性 ◆ 温度补偿 ◆ 保护传感器防丨止污染 ◆ 一键调零功能 ◆ 宽范围电源 ◆ 2个设点(选项) ◆ RS232接口(选项) 用 途 ◆ 用于刻蚀,CVD, PVD, ALD半导体制造设备 ◆ 资料贮存和显示器制造设备 ◆ 工业真空设备 ◆ 常用真空测量
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